半導体産業の製造工程では、ロボットやCVD/PVD装置をよく見かけます。ロボットは生産歩留まりを上げるために異なる生産ラインからウェーハを素早く移動させ、CVD/PVD装置はウェハーに薄膜を形成するために使用されます。これらの装置からデータを取得するために、業界では高度なデータ取得・分析機能を必要とし、装置の連続稼働と生産歩留まりを向上させることが求められています。

台湾の大手半導体企業は、ロボットとCVD/PVD装置のデータ収集と解析に、アドバンテックのADAM-6017 Ethernet I/O、ADAM-6317 OPC UA Ethernet I/O、EKI-2728スイッチを採用し、半導体管理、機械効率、生産の安定性を向上させました。

ウェーハ表面の純度と平坦性を確保するために、CMP（化学機械平たん化）工程では、ウェーハ表面の損傷やキズを特定する必要があります。

アドバンテックのマシン ビジョン エッジ ソリューションは、CMP装置、ロボット ハンドリング システム、ビジョン検査システム、ITデータベース用アップリンクデータを含むCMPシステムとして導入されました。 

ビジョン検査システムは、産業用イメージセンサ、ハイ レベル コンピューティング産業用PC IPC-240、フレーム グラバ カードPCIE-1674E-AE、高速産業用カメラ、VisionNaviアプリケーション ソフトウェアで構成されており、ユーザはプログラミングのスキルなしで簡単にビジョン検査アプリケーションを展開することができます。

ウェーハの洗浄は、半導体の製造工程で非常に重要な役割を担っています。ウェハーの洗浄は、IC製造ライン全体の各工程の前後に行われ、全体の製造時間の約1/3を占めています。

アドバンテックと当社のシステム インテグレータ（SI）は、ウェーハ洗浄工程における位置決め装置の代わりに、マシン ビジョン ソリューションを使用することを提案しました。このプロジェクトでは、VisionNaviを内蔵したアドバンテックのIPC-7120, AIMB-788, PCIE-1674と、位置補正のために中間ステーションにアドバンテックのQCAMメガピクセルPoE産業用カメラ1台を組み込みました。プレースステーションには、VisionNaviと3台のQCAMを搭載したコンパクトビジョンシステムコンピュータAIIS-3411Pを使用し、中心位置や反りの有無を判定しています。

その結果、ウェーハにダメージを与えることなく、数秒ではなく数ミリ秒単位で正確に再センタリングできるようになり、大手ICメーカーの生産歩留まりと効率をさらに向上させることに成功しました

ウェーハテストは、半導体デバイス製造の重要なプロセスであり、ウェーハプローバによってウェーハの電気的特性を精密に測定し、欠陥を特定するために行われます。

アドバンテックは、ウェーハ検査用途向けに、DAQNaviソフトウェア開発キットとiDAQモジュラ式システムを提供しています。高密度デジタルI/Oモジュール「iDAQ-751」は、最大48個の周辺スイッチ/デバイスを同時に制御し、精密な位置決要件を満たします。DAQモジュール「iDAQ-821」は、ウェーハ検査用のテスト信号を8chアナログ出力し、「iDAQ-841」は、ウェーハの電気特性を1MS/sのサンプリングレートで測定し、ウェーハに潜在する欠陥を特定することが可能です

産業用PCやEKIシリーズのPoEインジェクタやマネージドスイッチなどの接続デバイスは、さらにデータを取得し、ウェーハの品質監視をおこなうためにデータをコントロールルームに送ることができます。

半導体製造などのハイテク産業では、多くの有害な化学物質が使用されています。これらの化学物質は危険で汚染を引き起こすだけでなく、その廃棄物の管理も困難です。

台湾のある有名な半導体メーカーは、アドバンテックのWISE-6610 LoRaWANゲートウェイとWISE-2410 LoRaWAN振動センサーを利用して、煙突の高い位置に検査チェックポイントを持つ廃棄物処理システムを自動的かつ遠隔監視しています。これにより、メンテナンススタッフのリスクを軽減し、より効率的な産業施設監視ソリューションを展開することができました。