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산업용 I/O & 자동화 > 원격 설비 관리 솔루션  > 반도체 공정

반도체 공정 
인텔리전트 원격 설비 관리

반도체 제조는 많은 개별 단계로 구성된 복잡한 공정 흐름을 특징으로 합니다. 웨이퍼 제작 및 정렬에서 부터 조립, 테스트, 패키징, 배송까지 일련의 과정 중 다수는 매우 정밀한 가공이 필요합니다. 

어드밴텍의 지능형 원격 설비 관리 제품 포트폴리오는 데이터 수집, 시스템 상태 모니터링, 장치 관리의 요구 사항을 충족합니다. 원격 현장의 디바이스에서 데이터를 효과적으로 감지, 수집 및 관리합니다. 또한 스위치, 라우터, 게이트웨이 등 어드밴텍의 통신 솔루션과 WebAccess/SCADA와 같은 SCADA 소프트웨어를 통해 감시 제어, 데이터 분석 및 시각화를 위한 추가 분석을 성공적으로 수행할 수 있습니다. 

이와 같이 현장과 클라우드를 연결하는 포괄적인 솔루션은 시스템 효율성, 안정성 및 확장성을 보장합니다. 또한 반도체 제조업체 및 장비 구축업체의 관리 기능뿐만 아니라 제품 품질 향상에 도움이 됩니다.

인텔리전트 원격 설비 관리 제품 특징

반도체 설비 관리 및 장비 테스트 시스템 시나리오

설비 모니터링을 지원하는 LoRaWAN 기반 무선 솔루션

청정 압축 공기 설비 시스템(CDA)은 제조 장비의 공압 구성 요소, 제어 밸브 또는 재료와 장비를 청소하기 위해 팹(Fab)에서 사용됩니다. 제조 공정을 원활하게 하기 위해 유지관리 팀은 CDA 시스템을 세심하게 모니터링해야 합니다. 



어드밴텍은 플러그 앤 플레이 설계의 LoRa 기반 원격 설비 모니터링 및 검사 솔루션을 제공합니다. 압축기 검사를 위한 진동 센서 WISE-2410, 온습도 센서 및 I/O 모듈 WISE-4610, WISE-S617으로 구성된 솔루션 패키지는 공장 환경과 설비 전류 및 전력을 모니터링할 수 있습니다. 


시스템 데이터 수집 및 분석을 제공하는 원격 I/O 솔루션

자동화된 반도체 제조 공정에서 로봇과 CVD/PVD 머신을 흔히 볼 수 있습니다. 로봇은 웨이퍼를 다양한 생산 라인에서 빠르게 이동하여 생산 수율을 높이고 CVD/PVD 머신을 사용하여 웨이퍼에 박막을 형성합니다. 이와 같은 머신으로부터 데이터를 확보하기 위해서는 지속적인 머신 운영 및 생산 수율을 높일 수 있는 고급 데이터 수집 및 분석 기능이 필요합니다.


ADAM-6217 및 EKI-2728 스위치와 같은 어드밴텍 산업용 원격 I/O 모듈 구성은 이더넷을 통해 주요 매개 변수를 효과적으로 캡처하는 동시에 분석을 위해 VM 서버로 데이터를 전송하여 반도체 관리, 기계 효율성 및 생산 안정성을 향상시킵니다.


웨이퍼 표면 순도 및 평면성 검사를 보장하는 머신 비전 솔루션

CMP(Chemical Mechanical Planalization) 공정에서 웨이퍼 표면 손상 및 스크래치 결함을 찾아 웨이퍼 표면 순도와 평면성을 확보해야 합니다.


어드밴텍은 정밀하고 효율적인 반도체 생산을 위해 산업용 이미지 센서, 고급 컴퓨팅 IPC-220, 프레임 그래버 카드 PCIE-1674E-AE, 산업용 카메라 및 VisionNavi 애플리케이션 소프트웨어를 포함하는 머신 비전 검사 솔루션을 제공합니다. 

LoRaWAN 무선 센싱 및 통신을 통한 원격 검사

반도체 제조나 발전소 등 첨단 기술 산업에서는 많은 위험물 및 유해화학물질이 사용됩니다. 이러한 화학 물질은 주변 환경을 오염시킬 뿐만 아니라 폐기물 처리 및 관리 과정도 복잡합니다. 


산업 폐기물 처리 시스템은 보통 높은 굴뚝에 가스를 분산시키기 위한 검사 체크 포인트가 존재합니다. 어드밴텍 LoRaWAN 무선 IoT 센싱 장치 WISE-6610 및 WISE-2410은 시스템을 원격으로 모니터링할 수 있어 폐기물 처리 시스템을 위한 완벽한 시설 모니터링 솔루션입니다.


데이터 수집 및 통신을 통한 장비 테스트 및 측정 기능 강화

웨이퍼 테스트는 반도체 소자 제작 시 매우 중요한 단계입니다. 전기적 특성을 정밀하게 측정하는 데 필요한 웨이퍼 프로버(Prober) 장비로 수행됩니다. 


어드밴텍 PCIE-1753과 같은 고강도 디지털 I/O 카드는 웨이퍼를 정확하게 배치할 수 있는 주변 스위치/장치를 제어하는 데 사용됩니다. 웨이퍼 테스트 시 각 웨이퍼의 전기적 특성을 정확하게 측정하기 위한 아날로그 출력에은 고성능 PCIE-1812와 PCIE-1824가 충족했습니다. 


또한 어드밴텍의 포괄적인 DAQ 디바이스와 소프트웨어 개발 키트는 웨이퍼 테스트 장비를 구축하는 데 드는 비용을 효과적으로 제어하고 시간을 단축할 수 있었습니다.


성공 사례

인텔리전트 원격 설비 관리 및 장비 테스트 및 측정 구현

압축공기시스템(CDA)을 지원하는 하는 LoRaWAN 기반 무선 솔루션

어드밴텍의 LoRaWAN 무선 솔루션에는 진동센서 WISE-2410, 무선 I/O모듈 WISE-4610, 플렉서블I/O WISE-S617이 포함되어 대만 반도체 제조 공장의 CDA 시스템에서 압축기 검사, 환경 및 설비 전류/전원 모니터링을 지원합니다. 


간편하고 안정적이며 비용 효율적인 프라이빗 LoRaWAN 네트워크 솔루션은 반도체 업계의 다양한 설비 모니터링 애플리케이션에 최적화 되어있습니다. 


로봇과 장비를 위한 데이터 수집 및 분석을 구현하는 리모트 I/O 솔루션

대만의 글로벌 리딩 반도체 생산 업체는 어드밴텍의 리모트 I/O 모듈 ADAM-6217과 산업용 이더넷 스위치 EKI-2728을 사용하여 로봇과 CVD/PVD 장비 데이터를 수집하고 분석합니다. 이를 통해 장비 안정성 및 확장성과 장비 효율성, 관리 기능이 향상되었습니다.  

웨이퍼 순도 및 평면성 검사를 위한 머신 비전 솔루션

어드밴텍 머신 비전 엣지 솔루션은 CMP 머신, 로봇 제어 시스템, 비전 검사 시스템,  IT 데이터베이스를 위한 업링크 데이터를 포함하는 CMP 시스템에 설치되었습니다.


머신 비전 엣지 솔루션은 글로벌 셔터, 고속 산업용 카메라, 멀티 채널 컴퓨팅 플랫폼, 플로우 차트 기반의 GUI 인터페이스로 구성된 VisonNavi 소프트웨어를 포함하여 사용자가 프로그래밍 스킬 없이 비전 검사 애플리케이션을 쉽게 구현할 수 있도록 지원합니다.  


LoRaWAN 무선 솔루션을 이용한 원격 폐기물 처리 검사

대만 유명 반도체 제조업체는 어드밴텍의 LoRaWAN 무선 IoT 센싱 디바이스 WISE-2410과 WISE-6610을 활용하여 폐기물 처리 시스템의 검사 항목 처리 과정을 원격으로 모니터링 합니다.

웨이퍼 프로빙 장비를 강화하는 데이터 통신 및 취득

Advantech's PCIE-1753, PCIE-1812, and PCIE-1824 data acquisition (DAQ) devices empowered a water probing equipment builder in Taiwan to control up to 96 peripheral limited switches/devices. This helped them accurately measure electrical characteristics of each wafer via analog output. 


With these advanced DAQ devices and DAQNavi software development kit, customers can effectively control costs and shorten time for building wafer testing machines.

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1983년에 설립된 어드밴텍은 혁신적인 임베디드 및 자동화 솔루션을 공급하는 글로벌 리더입니다. 어드밴텍은 종합적인 하드웨어와 소프트웨어의 통합 시스템을 제공하고 고객 중심의 서비스와 글로벌 커버리지를 지원하며 혁신적인 애플리케이션을 가능하게 합니다.

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